尼康BW系列白光干涉儀

在2017年被日本光(guang)(guang)(guang)學協會(hui)授予光(guang)(guang)(guang)設(she)計(ji)特別大獎，獲獎原(yuan)因是其(qi)在白光(guang)(guang)(guang)干涉的分辨率有飛躍性的提高(gao)，控制噪音達到很高(gao)的(de)(de)水平(ping)，之前難(nan)以測(ce)量的(de)(de)超平(ping)滑表(biao)面(mian)的(de)(de)性(xing)能特征，實現了定(ding)量測(ce)定(ding)。

可實(shi)現精確的亞納米表面(mian)輪廓(kuo)非接觸式測量。

尼康*的(de)掃描式光學干涉測量(liang)技(ji)術實現了(le)1皮(pi)米(pm)的高度分辨率。尼康提供(gong)多種光(guang)學顯微鏡作為測量系統(tong)，以適應(ying)廣泛的測量應(ying)用。

測量精度&重復性

尼康BW系列產品具有很高的高度解析能力和重復測量精度，美國VLSI公司生產的8.9nm臺階是世界上目前被認證的小高度標準樣，其擴展不確定度為0.6nm，而尼康BW白光干涉儀經過十次測量結果全部在擴展不確定度范圍內，且標準偏差為0.03nm。

測定穩定性

白(bai)光干涉儀光源的(de)中心(xin)波長是(shi)隨(sui)著時(shi)間不斷變化的(de)，尼康的(de)BW系列白(bai)光干涉儀，由于算法(fa)與波長無關，測(ce)定的(de)結(jie)(jie)果在任何時(shi)間點都可以保(bao)證*性，保(bao)證了用(yong)戶測(ce)量結(jie)(jie)果具備很高的(de)重復性和再現性。

高度測量*性

與傳統的利用光學景深進行三維重構的超景深顯微鏡和將景深減小更精細還原三維表面的共聚焦相比，BW系列白光干涉儀每個倍率下高度分辨率都是1pm，可以實現每個倍率測量結果的高度統一，而共聚焦或者超景深在低倍的鏡頭測量，由于其分辨率的下降，導致測量精度變差。而且尼康BW白光干涉儀分辨率遠高于共聚焦高倍物鏡。

參考下圖SiC晶圓上的(de)特征高度(du)，采用不(bu)同倍(bei)率的(de)尼(ni)康物(wu)鏡測量(liang)(liang)結果是高度(du)*的(de)。（低倍(bei)測量(liang)(liang)結果的(de)偏差(cha)是由于像素點大而特征點邊界小導致）

應用：碳化硅晶圓劃痕檢測

在高度拋光的碳化硅晶(jing)圓上由于細小劃痕引起(qi)的粗糙度偏(pian)大，之(zhi)前采用原子(zi)力顯微鏡(jing)檢測(ce)可以看到劃痕，

而(er)采(cai)用(yong)尼康(kang)BW-D系列高速機(ji)型使用(yong)100倍物鏡掃描25張(zhang)圖像只需要1分鐘，不(bu)但(dan)可以(yi)看到劃(hua)痕(hen)，而(er)且可以(yi)測(ce)定(ding)劃(hua)痕(hen)深度(du)(du)及(ji)其對表面粗(cu)糙度(du)(du)評定(ding)的影響。

應用：碳化硅晶圓粗糙度測量

超光滑表(biao)面(mian)粗(cu)糙(cao)度(du)測量，可(ke)以測量面(mian)粗(cu)糙(cao)度(du)小于(yu)0.1nm表(biao)面(mian)。

應用：光學平晶

應用：滾珠

通過(guo)澤尼克多(duo)項式擬合(he)測量(liang)滾(gun)珠的外型尺寸和粗糙度。

應用：玻璃基底鉻鍍層

應用：石墨烯

石墨(mo)烯的(de)結構是亞納米級，石墨(mo)烯的(de) “片層(ceng)”和(he)“褶皺”結構高(gao)度(du)都(dou)是亞納米級，傳統的(de)三(san)維(wei)圖(tu)像(xiang)都(dou)是采用原子力(li)顯微鏡(jing)進行解析，尼康BW可以提供(gong)更(geng)快速(su)更(geng)大視野的(de)高(gao)縱向分辨力(li)的(de)圖(tu)像(xiang)解析。

應用：金剛石薄膜

這類材料表(biao)面(mian)呈現各個不(bu)同的角度，圖像獲(huo)取難度大，而尼康BW白光(guang)干涉(she)系統可(ke)以(yi)輕松獲(huo)取表(biao)面(mian)真實三維信息，得到很不(bu)錯的結果。

應用：圖像傳感器

微型(xing)圖像(xiang)傳(chuan)感器，傳(chuan)感器凸起部分只有幾十納米，對于共聚焦100倍(bei)物鏡來(lai)說(shuo)解析已(yi)經比較吃力(li)，尼康BW可(ke)以呈現非常高(gao)對比度的高(gao)度圖像(xiang)，無(wu)論圖像(xiang)畫質還是測(ce)量準確(que)度，都更勝*。

應用：陶瓷基片

陶瓷基片因為(wei)表(biao)面(mian)情況復(fu)雜，傳統(tong)白光干涉儀(yi)測量點缺(que)失嚴重，尼(ni)(ni)康(kang)BW具(ju)有更好的算法處理(li)，配合尼(ni)(ni)康(kang)優(you)異(yi)的光學系統(tong)，